Yarimo'tkazgich maydoni
Yarimo'tkazgichli gofretlar va optik substratni tozalash yarimo'tkazgichli gofretlar va optik substratlarni bir xil jarayonni qayta ishlashda, ya'ni xomashyoni kesish, silliqlash va boshqa ishlov berish shakllarini kerakli shakli uchun. Bu jarayon zarrachali ifloslantiruvchi moddalarni kiritadi, ularni olib tashlash qiyin va takroriy ifloslanishning jiddiy muammolarini keltirib chiqaradi. Yarimo'tkazgichli platalar yuzasida ifloslantiruvchi moddalar bosilgan elektron platalarning sifatiga ta'sir qiladi, bu esa o'z navbatida yarimo'tkazgich chiplarining ishlash muddatini qisqartiradi. Optik substratlar yuzasida ifloslantiruvchi moddalar optika va qoplamalar sifatiga ta'sir qiladi va energiyaning bir xilligi va xizmat muddatini qisqartirishi mumkin. Lazerli quruq tozalash substrat yuzasiga zarar etkazishga moyil bo'lganligi sababli, bu tozalash usuli yarimo'tkazgichli gofretlar va optik substratlarni tozalashda kamroq qo'llaniladi va lazerli nam tozalash va lazer plazma zarba to'lqinlarini tozalash bu sohada yanada muvaffaqiyatli qo'llaniladi. Xu Chuanyi va boshqalar. ultra-silliq optik substrat yuzasida dielektrik plyonka sifatida mikron darajadagi maxsus magnit bo'yoqning cho'kishini o'rganib chiqdi, so'ngra impulsli lazerli tozalashdan foydalanish, tozalash effekti yaxshiroq bo'lsa-da, uning nopoklik zarralari zarrachalarning birlik maydoniga to'g'ri keladi. oshdi, ammo nopoklik zarralari hajmi va hududning qoplanishi sezilarli darajada kamaydi, usul ultra silliq optik substrat yuzasida mikron darajasidagi ifloslantiruvchi zarralarni tozalashda samarali bo'lishi mumkin. Ping Zhang ish masofasida lazer plazmasini tozalash texnologiyasini va lazer energiyasini turli zarracha o'lchamdagi ifloslantiruvchi zarrachalarni tozalash ta'sirini o'rgandi, sinov natijalari polistirol zarralari ustidagi o'tkazuvchan shisha substrat uchun 240 mJ lazerning optimal energiyasini ko'rsatdi. 1,90 mm ish masofasi, tozalash uchun lazer energiyasining ortishi bilan o'sish ta'siri aniq va ifloslantiruvchi moddalarning katta zarralarini tozalash osonroq.
Metall materiallar maydoni
Yarimo'tkazgichli gofretlar va optik substratni tozalash bilan solishtirganda metall material sirtini tozalash metall material sirtini tozalash, tozalovchi ifloslantiruvchi moddalar makro toifaga kiradi. Metall materiallar yuzasida ifloslantiruvchi moddalar asosan oksidlangan qatlam (korroziya qatlami), bo'yoq, qoplamalar, boshqa qo'shimchalar va boshqalar bo'lib, ifloslantiruvchi moddalar turiga ko'ra organik ifloslantiruvchi moddalarga (bo'yoq, qoplamalar kabi) va noorganik ifloslantiruvchilarga (bunday) bo'linadi. korroziya qatlami sifatida). Metall materiallar sirtini ifloslantiruvchi moddalarni tozalash asosan keyingi ishlov berish yoki foydalanish talablariga javob beradi, masalan, titanium qotishma qismlarini payvandlash, taxminan 10 mkm qalinlikdagi oksid qatlamini olib tashlash kerak bo'lgunga qadar, samolyotni kapital ta'mirlashda sirtdagi asl bo'yoq qoplamasini olib tashlash kerak. qayta püskürtmeyi engillashtirish uchun terini, rezina shinalar qoliplarini muntazam ravishda tozalash kerak, shinalar sifatini ishlab chiqarishni ta'minlash uchun rezina zarrachalar yuzasi tozaligini ta'minlash va xizmat muddatini ta'minlash uchun. qoliplar. Metall materiallarning shikastlanish chegarasi sirt ifloslantiruvchi moddalarni lazer bilan tozalash chegarasidan yuqori bo'lib, tegishli quvvat lazerini tanlash orqali yaxshi tozalash natijalariga erishish mumkin, ba'zi joylarda etuk ilovalar bo'lgan. Vang Lixua va boshqalar. alyuminiy qotishmasi va titanium qotishmasining sirt oksidlanishini davolashda lazerni tozalash texnologiyasini qo'llashni o'rganib chiqdi, natijalar shuni ko'rsatadiki, 5,1 J / sm2 energiya zichligi lazerdan foydalanish A { ning oksidi qatlamining sirtini tozalash uchun ishlatilishi mumkin. {5}}H alyuminiy qotishmasi bir vaqtning o'zida substratning yaxshi sifatini saqlab qolish uchun, o'rtacha quvvati 100 Vt impulsli lazerli skanerlash rejimidan foydalanish titanium qotishmasining oksidlangan qatlamining sirtini tozalashda samarali bo'lishi mumkin. materialning sirt qattiqligi. 100 Vt impulsli lazerning o'rtacha quvvati titanium qotishmasi yuzasida oksid qatlamini samarali tozalashi va skanerlash orqali materialning sirt qattiqligini yaxshilashi mumkin. Mahalliy Ruike Laser, Da Nu Laser, Shenzhen Chuangxin va boshqa kompaniyalar lazerli tozalash uskunalarini ishlab chiqdilar, shinalar va boshqa rezina qoliplarda, metall korroziya qatlamida, qismlar va komponentlarning sirt yog'ini tozalashda keng qo'llanilgan.
Madaniy yodgorliklar maydoni
Madaniy yodgorliklar va qog'oz sirtini tozalash metall buyumlar va tosh artefaktlar va boshqalar. Uning yuzasida axloqsizlik, siyoh va boshqa ifloslantiruvchi moddalar kabi uzoq vaqt davomida paydo bo'lishi sababli, madaniy yodgorliklarni tiklash uchun bu ifloslantiruvchi moddalarni tozalash kerak. Rasm va xattotlik va boshqa qog'ozlarning sirtini noto'g'ri saqlashda mog'or paydo bo'ladi va blyashka paydo bo'ladi, bu plitalar qog'ozning asl ko'rinishiga, ayniqsa qog'ozning madaniy yoki tarixiy qiymatiga jiddiy ta'sir qiladi, uni qadrlash va himoya qilishga ta'sir qiladi. . Zhao Ying va boshqalar. guruch qog'ozidagi mog'or blyashkalarini ultrabinafsha lazer bilan tozalashning texnik-iqtisodiy imkoniyatlarini o'rganib chiqdi, sinov natijalari shuni ko'rsatdiki, bir martalik energiya zichligi 3,2 J / mm2 bo'lgan lazerli skanerdan foydalanish nozik plaklarni olib tashlashi mumkin, ikki marta skanerlash toza blyashka bo'lishi mumkin, lekin lazer energiyasidan foydalanish juda yuqori bo'lsa, guruch qog'ozi bilan bir vaqtning o'zida blyashkalarni olib tashlashda shikastlanadi. Chjan Xiaotong va boshqalar. lazer vertikal nurlanish suyuq plyonka usuli yordamida zarhal bronza artefaktni muvaffaqiyatli tikladi. Chjan Licheng va boshqalar. Xan sulolasi davrida bo'yalgan terakotadan yasalgan ayol haykalchasini tiklashda lazerli tozalash texnologiyasidan foydalangan. Yuan va boshqalar. tosh madaniy yodgorliklarni tozalashda qo'llaniladigan lazerli tozalash texnologiyasining ta'sirini o'rganib chiqdi, qumtosh tanasining tozalashdan oldin va keyin zararlanishini va mos ravishda siyohni tozalash, tutun ifloslanishini tozalash va bo'yoq ifloslanishini tozalash ta'sirini o'rgandi.
